hvpe

通过HVPE法成功制备高质量正交结构κ-Ga₂O₃异质外延薄膜

天津理工大学集成电路科学与工程学院聚焦集成电路全产业链,设有电子科学与技术、集成电路科学与工程、信息与通信工程3个一级学科硕士点及6个本科专业,其中国家级一流专业2个、天津市一流专业3个。学院师资雄厚,拥有国家级、省部级人才20余人,并建有天津市重点实验室、教

薄膜 正交 hvpe 外延薄膜 高质量正交 2025-09-30 09:20  5